簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "趙崇禮".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="拋光墊移除率"


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    數位雙生系統於搖臂式拋光墊修整之分析與預測研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 潘巧昕 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究目的為建立搖臂式拋光墊修整之數位雙生系統,整合搖臂控制模組及動態量測模組透過Modbus通訊協議連接實體搖臂與應用程式,可收集搖臂之實時資料,並透過彩色共軛焦感測器架設於搖臂上,以近似阿基米德…
    • 點閱:240下載:0
    • 全文公開日期 2024/09/26 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/09/26 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/09/26 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    Study on Diamond Dressing for Non-Uniformity of Pad Surface Topography in CMP Process
    • 機械工程系 /106/ 博士
    • 研究生: Quoc-Phong Pham 指導教授: 陳炤彰
    • 化學機械平坦化/拋光(CMP)製程已被廣泛用於製造積體電路(IC)。為了使製造IC的成本降低,晶圓的尺寸越來越大,CMP製程就需要使用夠大的拋光墊。較大的拋光墊尺寸會導致在CMP製程中,拋光墊表面形…
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